尚尤提供光照射型除电装置，对于一般大气中晶圆等带电电位衰减至1/10,于1S以内的短时间内除静电，可获得安全的除静电性能，光照的空间泛围广，将瓦斯离子化，即使除静电物体附近存在不稳定的气流，也不影响除电性能，平常不须维护，仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。 由于正负离子及电子平均分布于空间内，除电对象物的残留电位为0V。 光直接离子化瓦斯，在大气压下，N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。 光照射的...

尚尤提供光离子化静电消除器；离子以光波形式传输,无需气流传达； 软X射线产生高密谋离子，高效快速消除静电；离子平衡性良好，无“过冲”现象；光离子化除静电，免除“清洗”工序；射线（3-9.5kev）产生电离，不会产生臭氧；无电极放电产生电磁噪声危害；可对高速移动物体、粉状产品瞬间去除静电